http://warm-heater-corner-ir.com/he/tags/%D7%AA%D7%9E%D7%99%D7%9B%D7%94/ Recent content in תמיכה on Cozy Corner Infrared Heating Hugo he Sun, 28 Jun 2026 01:50:09 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/he/posts/technical-support-for-wafer-heating/ Sun, 28 Jun 2026 01:50:09 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/he/posts/technical-support-for-wafer-heating/ <p><img src="http://warm-heater-corner-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="תמיכה טכנית לחימום של וופרים"></p> <p>בחדר הייצור, שלב האפייה הוא זה שקובע את ההצלחה של התהליך. שינוי של 2 מעלות צלזיוס בתהליך האפייה עלול לגרום לשינויים בממדים החשובים של הוופר. חלקיק אחד שנוצר במהלך החימום עלול לפגוע בוופר. לכן, ייצרנו מערכת לחימום הוופר, שנועדה להפחית את השינויים האלו.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו שומרים על אחידות טמפרטורלית של ±0.1 מעלות צלזיוס על פני כל שטח הוופר, כך שכל אזור יקבל אותו תנאי חימום. המערכת עובדת בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, מבלי לגרום לעלייה במספר החלקיקים. בנוסף, המערכת אינה יוצרת שום חלקיקים בזמן החימום. השגרתיות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.2 מעלות צלזיוס, מה שמאפשר שליטה טובה יותר על תהליך הליתוגרפיה. המערכת משתמשת ברכיבי אינפרא-אדום לשליטה מהירה בקצב החימום. בנוסף, האזור החם מעוצב כך שיווצר מינימום גזים, כך שיציבות הפוטורזיסט נשמרת.</p>