वेफरों के संदूषण की समस्या को रोकना
ईमानदारी से कहें तो, सेमीकंडक्टर उत्पादन में इन्फ्रारेड लैंपों के टूटने से न केवल समस्याएँ पैदा होती हैं, बल्कि यह तो एक वास्तविक आपदा ही है।
जब क्वार्ट्ज ट्यूब भारी भार के कारण टूट जाती है, तो न केवल उत्पादन प्रक्रिया में व्यवधान पड़ता है, बल्कि काँच के टुकड़े एवं टंगस्टन फिलामेंट भी वेफरों पर गिर जाते हैं। ऐसी स्थिति में वेफरों की गुणवत्ता तुरंत ही खराब हो जाती है।
यही कारण है कि हम अपने लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं।
लैंप क्यों टूट जाते हैं?
अधिकांश मामलों में, लैंप थर्मल शॉक या स्थानीय गर्मी के कारण ही टूट जाते हैं। इस समस्या से निपटने हेतु हम उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। ऐसा करने से ट्यूब का कमजोर होने का समय बढ़ जाता है, जिससे ट्यूब तेज गर्मी के कारण भी नहीं टूटती।
हमने टंगस्टन फिलामेंटों की संरचना पर भी बहुत मेहनत की है। उद्देश्य यह है कि गर्मी पूरी ट्यूब में समान रूप से वितरित हो, ताकि ट्यूब के छोरों पर कोई समस्या न हो।
कचरे को रोकना
वास्तविक रहस्य तो यह है कि हम विशेष सुरक्षात्मक कवरों का उपयोग करते हैं। ऐसे कवर, ट्यूब के अंदरूनी हिस्सों की रक्षा करते हैं। अगर अंदरूनी फिलामेंट टूट जाता है, तो बाहरी कवर सब कुछ रोक लेता है। इससे वेफरों पर कोई काँच का कचरा नहीं जमता, और कोई चिंता की बात नहीं रह जाती।
हम इलेक्ट्रोडों पर भी ध्यान देते हैं। अगर इलेक्ट्रोड सही तरीके से फिट न हों, तो सीलिंग में समस्याएँ पैदा हो जाती हैं। ऐसी स्थिति में छोटे-छोटे दरारें पैदा हो जाती हैं, जो समय के साथ बढ़ती जाती हैं… जिससे लैंप टूट जाता है। हम ऐसी समस्याओं को पूरी तरह दूर करते हैं।
एक और समस्या…
लेकिन ऐसे सुरक्षात्मक कवरों के कारण क्वार्ट्ज ट्यूब मोटी हो जाती है, जिससे गर्मी का संचरण प्रभावित हो जाता है। ऐसी स्थिति में विकिरण की तीव्रता में थोड़ी कमी आ जाती है। यह कोई बड़ी समस्या नहीं है, लेकिन आपको अपने PID सेटिंग्स को समायोजित करने की आवश्यकता है… ताकि वेफरों का तापमान सही रहे।
एक अंतिम सलाह: अपने कूलिंग फैनों पर ध्यान दें। अगर हवा प्रभावी ढंग से न चले, तो लैंप के छोरों पर गर्मी जमा हो जाती है… ऐसी स्थिति में सीलिंग जल्दी ही टूट जाती है… चाहे क्वार्ट्ज की गुणवत्ता कितनी भी अच्छी क्यों न हो।