Mengeringkan Wafer MEMS: Mengapa Kita Beralih ke Penggunaan Sinar Infra Merah
Saat berurusan dengan sensor MEMS, risikonya sangat tinggi. Kita perlu menghilangkan setiap tetes kelembapan yang ada, tetapi jika proses pengeringannya dilakukan secara berlebihan, struktur mikro yang halus tersebut akan rusak.
Selama ini, kita menggunakan udara panas untuk mengeringkan wafer. Namun, cara ini membutuhkan waktu yang lama. Kita beralih ke penggunaan sinar inframerah karena, sejujurnya, tidak ada yang mau membuang waktu berjam-jam hanya untuk menunggu wafer kering.
Perbedaan kecepatannya sangat signifikan.
Coba bayangkan menggunakan udara panas: Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, lalu mendorongnya ke seluruh bagian wafer. Proses ini membutuhkan waktu yang lama. Berbeda dengan sinar inframerah; energinya langsung mencapai wafer dalam waktu singkat. Tidak perlu menunggu udara menjadi panas. Di pabrik yang sibuk, hal ini membuat proses pengeringan yang dulunya membutuhkan beberapa menit kini hanya membutuhkan beberapa detik saja.
Tetapi kita tidak bisa sembarangan menggunakan sinar inframerah.
Jika kita meningkatkan intensitas cahaya secara berlebihan, maka tepi-tepi wafer akan rusak atau terjadi tegangan termal yang merusak wafer tersebut. Itulah mengapa kita perlu memilih panjang gelombang yang tepat. Kami menggunakan sinar inframerah berpanjang gelombang pendek, karena sinar ini dapat menembus wafer lebih dalam dan lebih cepat, sehingga cocok untuk proses pengeringan yang cepat.
Tetapi ada tantangannya juga.
Sinar inframerah memang sangat cepat, tetapi efektivitasnya tergantung pada garis pandangnya. Udara panas dapat menyelimuti permukaan wafer, tetapi sinar inframerah hanya dapat mencapai bagian-bagian yang terlihat olehnya. Jika wafer memiliki bentuk yang tidak rata atau ada bagian-bagian yang tertutup, maka akan terbentuk titik-titik dingin di permukaan wafer. Kita perlu menyesuaikan posisi lampu dan reflektor agar setiap milimeter permukaan wafer terpapar sinar inframerah.
Selain itu, kita juga perlu memperhatikan sistem pendinginan. Jika energi yang digunakan terlalu besar, maka suhu di dalam ruang pabrik akan naik drastis. Jika sistem pendinginan tidak memadai, suhu di dalam ruang pabrik akan menjadi tidak stabil, dan kita harus berusaha keras untuk menstabilkannya.