Riscaldatore a infrarossi per degassificazione dei wafer

Tue, 23 Jun 2026 13:24:40 +0800

Nel reparto di produzione, anche un leggero cambiamento di temperatura, anche solo di mezzo grado, può compromettere l’uniformità del fotoresist. In tal caso, la linea di produzione si ferma e il rendimento diminuisce. Abbiamo progettato questi riscaldatori a infrarossi apposta per evitare tali variazioni di temperatura, prima che queste possano avere effetti negativi sul processo di produzione.

Cosa è importante nel funzionamento di questi riscaldatori
Questi riscaldatori sono progettati per garantire un’uniformità della temperatura di ±0,1°C su tutta la superficie del componente da trattare. Il controllo della temperatura avviene in modo rapido, evitando così eventuali variazioni eccessive che potrebbero danneggiare il fotoresist. Gli emettitori utilizzano onde infrarosse a breve lunghezza d’onda per fornire energia in modo rapido e diretto. Inoltre, la camera in cui avviene il processo è conforme alle norme delle aree pulite di classe 1–100, il che permette di mantenere il numero di particelle presenti nell’ambiente a zero durante il processo di trattamento. La ripetibilità della temperatura rimane alta ciclo dopo ciclo, così i parametri critici del processo non vengono influenzati dalle fluttuazioni ambientali o dalle variazioni nei materiali utilizzati.

Degas on Cozy Corner Infrared Heating

Riscaldatore a infrarossi per degassificazione dei wafer