Riscaldatore per microscopio a forza atomica (AFM)

Wed, 01 Jul 2026 07:27:54 +0800

Nel settore della litografia, un riscaldatore AFM che non funziona correttamente rappresenta davvero un problema: non solo rende difficile il controllo delle condizioni termiche, ma trasforma anche i wafer in rottami. Abbiamo progettato il nostro riscaldatore AFM in modo che risponda esattamente alle esigenze degli ingegneri: temperatura stabile e ripetibile proprio alla punta di rilevamento, e un funzionamento adatto all’ambiente di lavoro sterile.

Ciò che è importante, dal punto di vista tecnico, è ciò che si può misurare. Il dispositivo mantiene una uniformità termica a livello del wafer entro ±0,1°C, quindi i parametri legati alla cottura del fotoresist rimangono costanti da un ciclo all’altro. Funziona in ambienti sterili di classe 1–100 e non produce alcuna particella, il che è fondamentale quando si vuole garantire la qualità dei prodotti in zone processuali sensibili. Il riscaldatore è progettato per funzionare 24/7, con dati di affidabilità che garantiscono zero interruzioni durante le fasi di produzione. La ripetibilità termica è elevata, quindi non è necessario effettuare ulteriori test per verificare le condizioni di funzionamento.

(Microscopio) on Cozy Corner Infrared Heating

Riscaldatore per microscopio a forza atomica (AFM)