洗浄用の防水赤外線ランプ

ウェーハ洗浄用ランプからより多くの熱を得る方法 もし、ウェーハ洗浄工程で防水型の赤外線ランプを使用したことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。単に表面を加熱するだけではなく、すべてを冷やそうとする洗浄液と戦っているのです。 本当の問題は、エネルギーの損失です。過剰な熱がウェーハに届かず、機械の筐...