http://warm-heater-corner-ir.com/ja/tags/%E3%83%89%E3%82%AC/ Recent content in ドガ on Cozy Corner Infrared Heating Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 13:24:40 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/ja/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Tue, 23 Jun 2026 13:24:40 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/ja/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://warm-heater-corner-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ウェーハ脱気用赤外線ヒーター"></p> <p>製造現場では、わずか0.5度の<a href="https://goldisgood.com">温度変動</a>でも、フォトレジストの均一性が崩れてしまいます。その結果、生産ラインが停止したり、歩留まりが低下したりします。私たちは、このような温度変動が起こる前にそれを防ぐために、ウェーハの脱ガス用の赤外線ヒーターを開発しました。</p> <p><strong>重要な点</strong> これらのヒーターは、チャック全体で±0.1℃の安定した温度分布を実現するように設計されており、急速な温度制御によってフォトレジストに与える影響を最小限に抑えます。エミッターは<a href="https://henruite.com">短波長</a>の赤外線を使用して、迅速かつ直接的に熱エネルギーを供給します。また、チャンバーはクラス1～100のクリーンルーム基準に適合しており、焼成や脱ガスの際にも粒子の発生を完全に防ぎます。温度の再現性も非常に高く、<a href="https://o-yate.net">周囲</a>の環境条件やバッチの組成が変わっても、重要な焼成プロファイルが乱れることはありません。</p>