http://warm-heater-corner-ir.com/ja/tags/%E3%83%8A%E3%83%8E%E3%83%81%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%83%96/ Recent content in ナノチューブ on Cozy Corner Infrared Heating Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 03:12:22 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/ja/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ Mon, 29 Jun 2026 03:12:22 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/ja/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ <p><img src="http://warm-heater-corner-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="カーボンナノチューブ製造用ヒーター"></p> <p>300mmウェハを扱う際、フォトレジストの焼成中に0.5度ほどの温度変動があれば、重要な寸法精度が狂い、大量のウェハが廃棄されてしまいます。そこで、私たちはカーボンナノチューブを利用したヒーターを開発しました。これにより、工程の各段階で温度が安定して維持され、何の問題も起こりません。</p>