ウェーハ加熱のテクニカルサポート

製造現場において、焼成工程は製品の歩留まりを左右する重要なステップです。ソフトベイクやハードベイクの温度が2°C変わるだけで、ウェーハの寸法に影響が出ます。また、加熱中に発生する微粒子がウェーハを損傷させる可能性もあります。そうした不安定要因を排除するために、私たちはウェーハを加熱する際の支持構造...