半導体ヒーター用熱電対

ウェーハの汚染という悪夢を止めるにはどうすればいいか？ 正直に言えば、半導体製造において、赤外線ランプが破損するというのは単なる面倒な問題ではありません。それは大惨事です。 石英管が過度な負荷に耐えられずに破損すると、単に生産が停止するだけでなく、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの...