http://warm-heater-corner-ir.com/ja/tags/%E9%96%8B%E7%99%BA%E8%80%85/ Recent content in 開発者 on Cozy Corner Infrared Heating Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 01:56:24 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ Tue, 30 Jun 2026 01:56:24 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://warm-heater-corner-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="コーター・デベロッパー用赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの現場では、温度というのは単なる細かい要素ではなく、プロセス自体を左右する重要な要素だとすぐに<a href="https://henruite.com">理解</a>できます。わずか1度の温度変動でも、重要な寸法の制御が乱れてしまいます。一方、エッジ部分をより高温で加熱すると、フォトレジストの汚れやエッジビードが発生し、それが不良品や再作業の原因となります。コーティング/現像装置においても、熱的性能というのは単なる利便性のためのものではなく、必要不可欠な要素です。</p> <h3 id="技術的に重要な点">技術的に重要な点</h3> <p>私たちが開発したコーティング/現像用赤外線ヒーターは、高度なフォトレジストの特性に合わせて設計されています。短波長のNIR素子を使用することで、熱を直接フォトレジストに伝えることができ、ウェハーに過度な熱ストレスを与えることなく、迅速に加熱が行われます。その結果、加熱プレート全体で±0.1℃以内の均一性が得られ、何千回ものサイクルを繰り返しても設定値が維持されます。</p>