웨이퍼 가열 시의 안전 거리

도구를 가열하는 것을 그만두고, 대신 웨이퍼를 가열하세요. 웨이퍼를 가열할 때는 에너지가 오직 기판에만 전달되어야 합니다. 다른 곳으로 에너지가 새어 나가서는 안 됩니다. 일반적인 적외선 램프의 문제점은 열이 사방으로 퍼진다는 것입니다. 이로 인해 비싼 장비의 내부...