오존이 없는 적외선 램프

오존이 깨끗한 100등급 클린룸을 망치는 것을 막는 방법 혹시 아무 이유 없이 오존 경보가 울리는 적이 있나요? 정말 끔찍한 상황입니다. 대부분의 일반적인 적외선 램프는 공기 중에서 화학 반응을 일으켜 오존($\text{O}_3$)을 생성합니다. 100등급 클린룸에서...