http://warm-heater-corner-ir.com/ko/tags/evaporation/ Recent content in Evaporation on Cozy Corner Infrared Heating Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 03:44:35 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/ko/posts/solvent-evaporation-heater-for-resist/ Fri, 03 Jul 2026 03:44:35 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/ko/posts/solvent-evaporation-heater-for-resist/ <p><img src="http://warm-heater-corner-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="저항체용 용매 증발 가열기"></p> <p>리소그래피 공정에서의 ‘소프트 베이킹’은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 포토레지스트를 제자리에 고정시키는 과정으로, 용매를 제거하고 나머지 공정 동안 유지될 온도를 설정하는 것입니다. 만약 히터가 제 역할을 하지 못한다면, 웨이퍼의 두께가 균일하지 않게 되거나, 가장자리에 불균일함이 생기며, 노출량도 일정하지 않게 됩니다. 그로 인해 재작업, 폐기물 처리 비용 등이 발생합니다.</p>