Lampu pemanas inframerah dengan masa tindak balas yang cepat

Sat, 27 Jun 2026 01:46:26 +0800

Di bilik pengeluaran, proses pemanasan bahan fotorezist menentukan kadar haba yang diperlukan. Jika suhu pemanasan berubah sebanyak 2°C sahaja, itu sudah cukup untuk mengganggu dimensi kritikal bahan tersebut dan menyebabkan masalah lain. Anda memerlukan haba yang tinggi, tetapi pada masa yang sama, haba tersebut harus stabil dan tidak meninggalkan zarah-zarah yang boleh merosakkan bahan tersebut.

Apa yang penting di belakang tabir
Kami menggunakan mentol pemanas inframerah yang dibina daripada unsur halogen berfrekuensi rendah, yang disimpan dalam kristal kuarsa berkualiti tinggi. Masa tindak balasnya kurang dari 200 ms, jadi suhu akan mencapai tahap yang ditetapkan dengan cepat setelah pintu dibuka atau ditutup. Di kawasan yang dipanaskan, ketekalan suhu pada tahap wafer ialah ±0.1°C, dan kebolehulangan proses pemanasan pula ialah ±0.2°C dalam masa 5,000 jam atau lebih, dengan perubahan suhu yang kurang dari 5%. Reka bentuk filamen dan reflektor direka sedemikian rupa agar tenaga dapat disalurkan ke tempat yang diperlukan, sekaligus mengelakkan komponen lain daripada menyerap haba yang tidak diperlukan.

Cepat on Cozy Corner Infrared Heating

Lampu pemanas inframerah dengan masa tindak balas yang cepat