Kwartsglasbeschermer voor fablamp

Thu, 18 Jun 2026 01:24:47 +0800

Op de productielijn is de prestatie van het fotorezistverwerkingsproces nauwkeurig te meten: deze wordt uitgedrukt in nanometers. Een verschil van 0,5°C kan al snel leiden tot problemen bij het beheer van de belangrijkste dimensies van de wafer. Dat betekent dat er veel wafer verloren gaan. De kwartsglasbescherming rondom de lampen zorgt er juist voor dat dit soort afwijkingen voorkomen.

Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken kwarts van hoge zuiverheid voor deze bescherming, omdat dit materiaal een stabiele transmissie van straling op kortegolflengten en middelgolflengten mogelijk maakt. Bovendien wordt het materiaal nauwelijks beschadigd door snelle temperatuurschommelingen. Hierdoor kan de warmteoverdracht op de wafer nauwkeurig worden gereguleerd, met een constante temperatuurverschuiving van ±0,1°C over het hele gebied waar de wafer wordt verwerkt. Hierdoor blijven de parameters van het verwerkingsproces consistent, lot na lot. In schone ruimtes van klasse 1–100 is het materiaal en de constructie zo ontworpen dat er geen deeltjes vrijkomen. Hierdoor blijft het aantal defecten op de wafer minimaal en valt dit niet terug in de productierapporten.

Glas on Cozy Corner Infrared Heating

Kwartsglasbeschermer voor fablamp