วาเฟอร์ on Cozy Corner Infrared Heating

บริการสนับสนุนทางเทคนิคด้านการให้ความร้อนกับแผ่นเวเฟอร์

Sun, 28 Jun 2026 01:50:09 +0800

ในขั้นตอนการอบวัสดุ ความสำเร็จในการผลิตขึ้นอยู่กับขั้นตอนนี้โดยตรง การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2 องศาเซลเซียสก็สามารถส่งผลต่อมิติสำคัญของวัสดุได้ และอนุภาคใดก็ตามที่เกิดขึ้นระหว่างกระบวนการอบก็สามารถทำลายชิ้นส่วนของวัสดุได้ เราจึงออกแบบระบบสนับสนุนการอุ่นวัสดุขึ้นมา เพื่อลดความผันผวนดังกล่าว

สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิให้อยู่ที่ ±0.1 องศาเซลเซียสทั่วพื้นผิวของวัสดุ เพื่อให้ทุกจุดได้รับอุณหภูมิที่เท่ากัน ระบบนี้สามารถทำงานได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ อีกทั้งยังมีความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในช่วง ±0.2 องศาเซลเซียส ซึ่งช่วยให้กระบวนการลิโธกราฟีมีความแม่นยำมากขึ้น ระบบนี้ใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดความถี่สูงเพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว และบริเวณที่มีอุณหภูมิสูงนั้นถูกออกแบบมาให้มีการปล่อยก๊าซน้อยที่สุด เพื่อรักษาคุณภาพของวัสดุไว้

นี่คือเหตุผลว่าทำไมระบบนี้จึงมีประสิทธิภาพในกระบวนการลิโธกราฟี การอบแบบอ่อนช่วยกำจัดสารละลายและควบคุมแรงดึงของฟิล์ม ส่วนการอบแบบแข็งช่วยเพิ่มความแข็งแรงของวัสดุ การควบคุมทั้งสองขั้นตอนนี้อย่างแม่นยำจะช่วยให้ได้ผลลัพธ์ที่มีความเสถียรมากขึ้น มีข้อบกพร่องน้อยลง และมีอัตราการผลิตที่สูงขึ้น นอกจากนี้ ระบบนี้ยังช่วยลดการใช้พลังงานเนื่องจากมีการควบคุมอุณหภูมิที่มีประสิทธิภาพ และยังช่วยลดการหยุดทำงานเพื่อบำรุงรักษาอีกด้วย อุปกรณ์ของเราสามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีอัตราการสูญเสียผลผลิตน้อยกว่า 5% เท่านั้น ผลลัพธ์ที่ได้คือการควบคุมความกว้างของเส้นที่มีความแม่นยำ และมีของเสียน้อยลง

หมายเหตุเพิ่มเติม การติดตั้งระบบนี้จำเป็นต้องปรับแต่งโปรไฟล์ความร้อนให้เหมาะสมกับโครงสร้างของเครื่องอบ และต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าระบบระบายอากาศและระบบทำความเย็นสามารถทำงานร่วมกันได้ คาดว่าจะใช้เวลาไม่นานในการปรับแต่งระบบให้เหมาะสม หลังจากนั้นระบบก็สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง แต่จำเป็นต้องรักษาความสม่ำเสมอของกระแสอากาศในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดไว้ เพราะการเปลี่ยนแปลงของกระแสอากาศอาจส่งผลให้เกิดความผิดเพี้ยนที่ขอบของวัสดุได้

เครื่องทำความร้อนด้วยอินฟราเรดสำหรับการกำจัดก๊าซในแผ่นเวเฟอร์

Tue, 23 Jun 2026 13:24:40 +0800

ในห้องปฏิบัติการผลิตชิป แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียงครึ่งองศาเดียว ก็สามารถทำให้ความสม่ำเสมอของฟอโตรีซิสต์เสียหายได้ ส่งผลให้กระบวนการผลิตหยุดชะงัก และอัตราการผลิตก็ลดลง เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดมาเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิดังกล่าว

สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
เราออกแบบเครื่องทำความร้อนเหล่านี้ให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C โดยมีระบบควบคุมอุณหภูมิที่รวดเร็ว เพื่อไม่ให้อุณหภูมิสูงเกินไปจนส่งผลกระทบต่อฟอโตรีซิสต์ ตัวเครื่องใช้แสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นเพื่อส่งพลังงานออกมาอย่างรวดเร็ว และห้องปฏิบัติการก็มีมาตรฐาน Cleanroom ระดับ 1–100 ซึ่งช่วยลดการเกิดอนุภาคในระหว่างการทำความร้อน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจึงอยู่ในเกณฑ์ที่ดีในแต่ละรอบการผลิต ทำให้คุณภาพของชิปไม่เปลี่ยนแปลงไปตามการเปลี่ยนแปลงของสภาพแวดล้อมหรือองค์ประกอบของวัสดุที่ใช้ในการผลิต

ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในกระบวนการลิโธกราฟี
ในกระบวนการลิโธกราฟี ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะช่วยให้การทำความร้อนมีประสิทธิภาพมากขึ้น ทำให้สามารถควบคุมความหนาของชิปได้ดีขึ้น และลดจำนวนชิ้นงานที่ต้องทำใหม่ลง การตอบสนองของอินฟราเรดที่รวดเร็วจะช่วยลดเวลาการทำความร้อน ซึ่งจะช่วยลดเวลาการผลิตโดยรวมได้ ในขณะเดียวกันก็ยังช่วยกำจัดสารละลายออกไปได้อย่างสมบูรณ์ และควบคุมขนาดของจุดบนพื้นผิวชิปได้ดี การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนถูกส่งออกมาตามความต้องการเท่านั้น ไม่ได้ถูกเก็บไว้ในรูปแบบของความร้อนสะสม อุปกรณ์นี้ถูกออกแบบมาให้สามารถใช้งานได้ตลอด 24/7 โดยมีช่วงเวลาการบำรุงรักษาที่แน่นอน ซึ่งจะช่วยลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดได้

สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้
เครื่องทำความร้อนเหล่านี้สามารถติดตั้งได้อย่างง่ายดาย แต่ก็ต้องมีแรงดันไฟฟ้าที่มั่นคง และระบบระบายความร้อนที่เหมาะสมกับอัตราการทำงานที่กำหนดไว้ คาดว่าจะใช้เวลาไม่นานในการตั้งค่าระบบให้เหมาะสมกับชิ้นงานที่ใช้ในการผลิต เมื่อตั้งค่าเสร็จแล้ว ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะอยู่ในเกณฑ์ที่ดี แม้ว่าจะมีการเปลี่ยนแปลงของปริมาณชิ้นงานที่ผลิตก็ตาม