บริการสนับสนุนทางเทคนิคด้านการให้ความร้อนกับแผ่นเวเฟอร์

Sun, 28 Jun 2026 01:50:09 +0800

ในขั้นตอนการอบวัสดุ ความสำเร็จในการผลิตขึ้นอยู่กับขั้นตอนนี้โดยตรง การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2 องศาเซลเซียสก็สามารถส่งผลต่อมิติสำคัญของวัสดุได้ และอนุภาคใดก็ตามที่เกิดขึ้นระหว่างกระบวนการอบก็สามารถทำลายชิ้นส่วนของวัสดุได้ เราจึงออกแบบระบบสนับสนุนการอุ่นวัสดุขึ้นมา เพื่อลดความผันผวนดังกล่าว

สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิให้อยู่ที่ ±0.1 องศาเซลเซียสทั่วพื้นผิวของวัสดุ เพื่อให้ทุกจุดได้รับอุณหภูมิที่เท่ากัน ระบบนี้สามารถทำงานได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ อีกทั้งยังมีความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในช่วง ±0.2 องศาเซลเซียส ซึ่งช่วยให้กระบวนการลิโธกราฟีมีความแม่นยำมากขึ้น ระบบนี้ใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดความถี่สูงเพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว และบริเวณที่มีอุณหภูมิสูงนั้นถูกออกแบบมาให้มีการปล่อยก๊าซน้อยที่สุด เพื่อรักษาคุณภาพของวัสดุไว้

นี่คือเหตุผลว่าทำไมระบบนี้จึงมีประสิทธิภาพในกระบวนการลิโธกราฟี การอบแบบอ่อนช่วยกำจัดสารละลายและควบคุมแรงดึงของฟิล์ม ส่วนการอบแบบแข็งช่วยเพิ่มความแข็งแรงของวัสดุ การควบคุมทั้งสองขั้นตอนนี้อย่างแม่นยำจะช่วยให้ได้ผลลัพธ์ที่มีความเสถียรมากขึ้น มีข้อบกพร่องน้อยลง และมีอัตราการผลิตที่สูงขึ้น นอกจากนี้ ระบบนี้ยังช่วยลดการใช้พลังงานเนื่องจากมีการควบคุมอุณหภูมิที่มีประสิทธิภาพ และยังช่วยลดการหยุดทำงานเพื่อบำรุงรักษาอีกด้วย อุปกรณ์ของเราสามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีอัตราการสูญเสียผลผลิตน้อยกว่า 5% เท่านั้น ผลลัพธ์ที่ได้คือการควบคุมความกว้างของเส้นที่มีความแม่นยำ และมีของเสียน้อยลง

หมายเหตุเพิ่มเติม การติดตั้งระบบนี้จำเป็นต้องปรับแต่งโปรไฟล์ความร้อนให้เหมาะสมกับโครงสร้างของเครื่องอบ และต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าระบบระบายอากาศและระบบทำความเย็นสามารถทำงานร่วมกันได้ คาดว่าจะใช้เวลาไม่นานในการปรับแต่งระบบให้เหมาะสม หลังจากนั้นระบบก็สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง แต่จำเป็นต้องรักษาความสม่ำเสมอของกระแสอากาศในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดไว้ เพราะการเปลี่ยนแปลงของกระแสอากาศอาจส่งผลให้เกิดความผิดเพี้ยนที่ขอบของวัสดุได้

สนับสนุน on Cozy Corner Infrared Heating

บริการสนับสนุนทางเทคนิคด้านการให้ความร้อนกับแผ่นเวเฟอร์