Як позбутися кошмару забруднення ваферів
Будьмо чесними: у виробництві напівпровідників розбита інфрачервона лампа – це не просто проблема. Це справжня катастрофа.
Коли кварцова трубка руйнується під великим навантаженням, виникає не лише проблема з перервою в роботі, але й уламки скла та вольфрамові нитки потрапляють прямо на вафери. Це може завдати серйозної шкоди якості продукції за лічені секунди.
Саме тому ми будуємо наші лампи саме так.
Чому лампи все-таки зламуються
Здебільшого причиною є тепловий удар чи локальні точки надмірного нагріву. Щоб боротися з цим, ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти. Це дозволяє підвищити температуру плавлення кварцу, тож трубка може витримувати високі навантаження без появи тріщин.
Ми також приділили багато уваги формі вольфрамової нитки. Мета проста: розподілити тепло рівномірно по всій трубці, щоб не було зон надмірного нагріву.
Як уникнути забруднення
Справжній секрет – це використання спеціалізованих захисних оболонок. Це своєрідна „сітка безпеки“: якщо внутрішня нитка зламується, зовнішній шар захищає вафери від уламків скла. Не буде жодного забруднення.
Ми також уважно стежимо за електродами. Якщо вони не ідеально підходять один до одного, може виникнути електричний дуг, що призведе до появи мікротріщин. Ми усуваємо ці проблеми повністю.
Недоліки
Є один недолік – додавання захисних шарів робить кварц товстішим, що впливає на розподіл тепла. Інтенсивність випромінювання буде трохи нижчою, ніж у тонкої трубки. Це не критично, але потрібно налаштувати параметри PID та можливо збільшити потужність, щоб температура поверхні ваферів залишалась на потрібному рівні.
Ще одна порада: перевірте вентилятори охолодження. Якщо вони не ефективно охолоджують повітря, тепло буде накопичуватися біля кінців лампи. У такому разі ущільнення швидко зламаються, незалежно від якості кварцу.