http://warm-heater-corner-ir.com/uk/tags/%D1%82%D0%B5%D1%85%D0%BD%D1%96%D1%87%D0%BD%D1%96-%D0%B4%D0%B0%D0%BD%D1%96/ Recent content in Технічні Дані on Cozy Corner Infrared Heating Hugo uk Sun, 28 Jun 2026 01:50:09 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/uk/posts/technical-support-for-wafer-heating/ Sun, 28 Jun 2026 01:50:09 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/uk/posts/technical-support-for-wafer-heating/ <p><img src="http://warm-heater-corner-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Технічна підтримка щодо нагрівання пластин"></p> <p>На виробничій лінії саме на етапі випалювання залежить якість продукції. Зміна температури на 2°C під час м’якого чи жорсткого випалювання може призвести до зміни критичних розмірів деталей. Одна-два частинки, які утворюються під час нагрівання, можуть пошкодити поверхню деталі. Ми створили спеціальну систему для нагріву пластин, щоб усунути таку нестабільність.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Ми підтримуємо температурну однорідність на рівні ±0,1°C по всій поверхні пластини, щоб кожна ділянка отримувала однаковий рівень теплового навантаження. Система працює у чистих залих класу 1–100 без значного збільшення кількості частинок. На етапі нагрівання не утворюється жодних частинок. Повторюваність температури залишається в межах ±0,2°C, що забезпечує передбачуваність процесу літографії. Для швидкого та контрольованого нагрівання використовуються елементи короткохвильового інфрачервоного випромінювання. Крім того, система розроблена так, щоб мінімізувати вивільнення газів, що дозволяє зберегти цілісність фоторезисту.</p>