لیتھوگرافی کے عمل میں، جلد ہی سمجھ میں آتا ہے کہ درجہ حرارت کوئی چھوٹی بات نہیں ہے؛ بلکہ یہ پورے عمل کا ایک اہم جزو ہے۔ اگر درجہ حرارت میں تھوڑی سی بھی تبدیلی آ جائے، تو پروڈکٹ کی کارکردگی متاثر ہو جاتی ہے۔ اگر درجہ حرارت کو زیادہ رکھا جائے، تو فوٹوریزسٹ کی سطح پر مسائل پیدا ہو جاتے ہیں، جن کی وجہ سے پروڈکٹ کو دوبارہ پروسس کرنا پڑتا ہے۔ کوٹر/ڈیولپر سسٹم میں، درجہ حرارت کو کنٹرول کرنا ایک اہم کام ہے۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم نے اپنے کوٹر/ڈیولپر سسٹم میں انفراریڈ ہیٹر استعمال کیا ہے، تاکہ یہ جدید فوٹوریزسٹ کے درجہ حرارت کے مطابق کام کر سکے۔ شارٹ-ویو انفراریڈ عناصر، حرارت کو براہِ راست فوٹوریزسٹ تک پہنچاتے ہیں، جس سے پروسس تیزی سے ہوتا ہے، اور ویفر پر کوئی دباؤ نہیں پڑتا۔ اس طرح، ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے، اور ہزاروں بار پروسس کرنے کے بعد بھی درجہ حرارت مستقل رہتا ہے۔
یہ سسٹم کلاس 1 سے کلاس 100 تک کے کلین روموں میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے، اور اس کی ساخت ایسی ہے کہ ویفر پر کوئی ذرہ نہ رہے۔ صفر گیس خارج ہونے والے مواد اور بند ہیٹر باڈی کی وجہ سے، سافٹ/ہارڈ بیکنگ کے دوران کوئی آلودگی پیدا نہیں ہوتی۔ عملی طور پر، اس سے 24/7 بغیر کسی رکاوٹ کے کام جاری رہتا ہے، اور توانائی کی کھپت بھی کم رہتی ہے، کیوں کہ ہیٹر ہر بار تیزی سے ٹھنڈا ہو جاتا ہے۔
یہاں یہ سسٹم کیوں کام کرتا ہے؟
پروڈکشن سسٹم میں، درجہ حرارت کو ریسیپی کے مطابق ہی رکھنا ضروری ہے، نہ کہ کمرے کے درجہ حرارت کے مطابق۔ اس انفراریڈ ہیٹر کی وجہ سے، درجہ حرارت مستقل رہتا ہے، جس سے پروڈکٹ کی کارکردگی بہتر رہتی ہے۔ اس طرح، پروسس کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور دیکھ بھال کی ضرورت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ ہیٹر ٹھنڈا رہتا ہے، اور توانائی براہِ راست فوٹوریزسٹ تک پہنچتی ہے۔
جاننے کے لئے اہم باتیں:
یہ ہیٹر زیادہ تر کوٹر/ڈیولپر سسٹموں میں استعمال کیا جا سکتا ہے، لیکن اس کا سائز اور ماؤنٹنگ کا طریقہ ہر سسٹم کے مطابق مختلف ہوتا ہے۔ اسے استعمال کرنے سے پہلے میکانی خالی جگہوں اور کولنٹ سسٹم کی جانچ ضرور کریں، اور انسٹالیشن کے بعد ایک بار پھر ٹیسٹ کریں۔
اگر آپ نم دار ماحول میں کام کر رہے ہیں، تو کنکٹرز کی سیلنگ پر خصوصی توجہ دیں۔ ہم الیکٹریکل انٹرفیس کو خشک اور مستحکم رکھنے کے لئے ضروری ہدایات فراہم کرتے ہیں۔