Làm thế nào để kiểm soát nhiệt độ trong phòng sạch loại 100 mà không gây ra bụi bẩn?
Khi chế tạo các cảm biến chính xác, bạn phải cân nhắc kỹ lưỡng. Bạn cần nhiệt độ cao để hoàn thành công việc, nhưng lại không thể để bất kỳ hạt bụi nào dính vào sản phẩm. Trong môi trường phòng sạch loại 100, các bộ phận tạo nhiệt thông thường thực chất giống như những “quả bom hẹn giờ”. Chúng có thể vỡ ra và giải phóng khí độc, khiến các tấm wafer bị hỏng.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các chiếc đèn hồng ngoại làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao.
Tại sao thạch anh lại quan trọng?
Chúng tôi sử dụng thạch anh có độ tinh khiết trên 99,9%. Tại sao ư? Bởi vì thủy tinh thông thường chứa nhiều tạp chất kim loại. Khi nhiệt độ thay đổi nhanh chóng, những tạp chất này sẽ gây áp lực lên thủy tinh, khiến nó vỡ. Thạch anh của chúng tôi được làm sạch hoàn toàn, vì vậy không có gì có thể vỡ ra khi nhiệt độ tăng lên.
Điều kỳ diệu nằm ở bức xạ hồng ngoại tầng sóng ngắn. Thay vì làm nóng toàn bộ không khí xung quanh, năng lượng sẽ truyền trực tiếp vào vật liệu. Cách này giúp tránh việc tạo ra bụi bẩn.
Những thách thức
Để đảm bảo môi trường hoàn toàn sạch, chúng tôi loại bỏ các chất kết dính hữu cơ và keo rẻ tiền thường được sử dụng trong các thiết bị thông thường. Chúng tôi sử dụng các gioăng có khả năng chịu nhiệt lên đến 1.000°C mà không bị hỏng.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: thạch anh có độ tinh khiết cao thì lại dễ vỡ hơn so với thủy tinh borosilicate. Nếu các khớp nối quá chặt hoặc máy móc rung động, các ống thạch anh có thể vỡ. Hãy để chúng có không gian để “thở”. Thiết bị lắp ráp cũng cần được thiết kế sao cho có thể chịu được sự giãn nở nhiệt.
Cách sử dụng trong quy trình sản xuất
Những chiếc đèn này rất phù hợp để sử dụng trong các bước xử lý nhiệt và loại bỏ nước trong quy trình chế tạo cảm biến. Nếu bạn điều chỉnh đúng công suất và khoảng cách tập trung của ánh sáng, bạn sẽ có được nhiệt độ đồng đều trên toàn bộ bề mặt vật liệu. Không còn vấn đề về sự biến dạng hay các lớp màng mỏng nữa.
Một lưu ý nữa về việc kết nối dây điện: hãy đảm bảo nguồn điện ổn định. Nếu có sự thay đổi đột ngột về điện áp, điều đó sẽ gây ra hiện tượng “điểm nóng” trên sợi dây tóc của đèn. Điều này sẽ làm hỏng đèn nhanh chóng và có thể khiến vỏ đèn bị vỡ.
Và xin hãy đảm bảo rằng các quạt làm mát được lọc sạch. Không có gì tồi tệ hơn việc để bụi bám vào bề mặt thạch anh tinh khiết.