Ngăn chặn nỗi ác mộng về tình trạng ô nhiễm wafer
Hãy thành thật mà nói: trong quy trình sản xuất bán dẫn, việc chiếc đèn hồng ngoại bị vỡ không chỉ gây ra những rắc rối nhỏ, mà còn là một thảm họa thực sự. Khi ống thủy tinh bị vỡ dưới áp lực lớn, bạn không chỉ phải đối mặt với tình trạng máy móc ngừng hoạt động, mà còn phải đối phó với những mảnh thủy tinh và sợi tungsten rơi trực tiếp xuống các wafer. Điều này có thể khiến tỷ lệ sản xuất bị giảm đáng kể trong chốc lát.
Đó chính là lý do tại sao chúng tôi thiết kế các đèn theo cách riêng của mình.
Tại sao đèn lại bị hỏng?
Hầu hết các trường hợp, nguyên nhân là do tác động nhiệt hoặc những điểm nóng cục bộ. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Điều này giúp nâng cao điểm nóng chảy của thủy tinh, giúp ống có thể chịu được áp lực lớn trong quá trình hoạt động mà không bị nứt.
Chúng tôi cũng dành nhiều thời gian để thiết kế kết cấu của sợi tungsten. Mục tiêu là để nhiệt lượng được phân bố đều khắp ống, như vậy sẽ không出现 những vùng bị quá nóng ở hai đầu ống.
Giữ cho các mảnh vỡ không rơi xuống wafer
Bí quyết để tránh những rắc rối này chính là việc sử dụng lớp vỏ bảo vệ chuyên dụng. Hãy coi đó như một “lưới an toàn”. Nếu sợi tungsten bên trong bị hỏng và ống bên trong bị nứt, lớp vỏ bên ngoài sẽ giữ lại tất cả các mảnh vỡ. Như vậy, sẽ không có bụi thủy tinh nào rơi lên bề mặt wafer, và bạn cũng không cần lo lắng nữa.
Chúng tôi cũng chú ý rất nhiều đến các điện cực. Nếu chúng không được lắp đặt chính xác, sẽ xảy ra hiện tượng điện arc tại các điểm tiếp xúc. Điều này tạo ra những vết nứt nhỏ mà bạn không thể nhìn thấy được, nhưng chúng sẽ ngày càng lớn dần, cho đến khi môi trường chân không bị phá vỡ và đèn bị hỏng. Chúng tôi loại bỏ hoàn toàn những điểm gây áp lực này.
Nhược điểm của việc sử dụng lớp bảo vệ
Tuy nhiên, việc sử dụng các lớp bảo vệ này khiến thủy tinh trở nên dày hơn, điều này ảnh hưởng đến khả năng truyền nhiệt của đèn. Bạn sẽ nhận thấy cường độ ánh sáng giảm xuống một chút so với ống thủy tinh mỏng. Điều này không quá nghiêm trọng, nhưng bạn cần điều chỉnh các thiết lập PID và có thể tăng công suất một chút để duy trì nhiệt độ bề mặt wafer ở mức cần thiết.
Một lưu ý cuối cùng: hãy kiểm tra các quạt làm mát. Nếu khung đèn không thể làm mát khí hiệu quả, nhiệt độ sẽ tăng lên ở hai đầu ống. Khi đó, các điểm tiếp xúc sẽ bị hỏng sớm, bất kể chất lượng thủy tinh có tốt đến đâu.