晶圆加热的安全距离

停止给工具加热吧（改为直接给晶圆加热） 在为晶圆加热时，你希望所有的能量都作用于晶圆本身，而不是散逸到其他地方。标准红外灯的问题在于，它会把热量向各个方向散发，这样很麻烦。很快，昂贵设备的内壁就会变得过热，甚至可能烧伤操作人员，或者损坏那些价值不菲的敏感部件。 因此，我们采用定向加热的方式。 物理...