http://warm-heater-corner-ir.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Cozy Corner Infrared Heating Hugo zh Sat, 25 Jul 2026 02:50:37 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/zh/posts/reducing-cycle-times-in-mems-wafer-drying-infrared-vs-forced-hot-air/ Sat, 25 Jul 2026 02:50:37 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/zh/posts/reducing-cycle-times-in-mems-wafer-drying-infrared-vs-forced-hot-air/ <p><img src="http://warm-heater-corner-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <h1 id="干燥mems晶圆为何我们选择红外线加热">干燥MEMS晶圆：为何我们选择红外线加热</h1> <p>在处理MEMS传感器时，精度要求极高。必须将晶圆上的每一滴水分都去除，但若使用过强的热量，那些极其脆弱的微结构就可能会被破坏。</p> <p>长期以来，人们一直使用热风来干燥晶圆。不过说实话，这种方法效率很低。我们现在转向红外线加热，因为没人愿意浪费大量时间等待晶圆干燥。<strong>两者的速度差异巨大。</strong></p>