http://warm-heater-corner-ir.com/zh/tags/%E6%BA%B6%E5%89%82/ Recent content in 溶剂 on Cozy Corner Infrared Heating Hugo zh Fri, 03 Jul 2026 03:44:35 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/zh/posts/solvent-evaporation-heater-for-resist/ Fri, 03 Jul 2026 03:44:35 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/zh/posts/solvent-evaporation-heater-for-resist/ <p><img src="http://warm-heater-corner-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="电阻器用溶剂蒸发加热器"></p> <p>在光刻工艺中，所谓的“软烘烤”并非简单的预热步骤，而是一个将光阻固定到位的关键环节——它能够去除溶剂，同时确定后续工艺过程中所需维持的温度条件。如果加热器无法正常工作，那么就会出现厚度不均匀、边缘瑕疵以及曝光参数偏差等问题。这些问题的后果就是需<a href="https://o-yate.com">要重新加工</a>，产生大量废品，从而降低生产效率。</p>