৩০০ মিমি লাইনে, ফটোরেজিস্ট বেক করার সময় অর্ধ-ডিগ্রি সেলসিয়াস পরিবর্তনই যথেষ্ট হয়ে যায়; এর ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনে ত্রুটি দেখা দেয় এবং পুরো প্রোডাকশন লটটি নষ্ট হয়ে যায়। আমরা কার্বন ন্যানোটিউব ভিত্তিক হিটার তৈরি করেছি; যাতে প্রক্রিয়ার সময় তাপীয় অবস্থা স্থিতিশীল থাকে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
হিটারটি কার্বন ন্যানোটিউব ভিত্তিক, তাই এটি দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয় এবং স্থিতিশীল অবস্থায় থাকে। এর ফলে ওয়েফারের পৃষ্ঠে ±০.১°C এর মধ্যে সামঞ্জস্য বজায় থাকে; আর পুনরাবৃত্তির ক্ষেত্রেও একই স্থিতিশীলতা বজায় থাকে। এটাই সফট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলোকে স্থিতিশীল রাখে।
এই হিটারটি থেকে প্রায় কোনো কণা উৎপন্ন হয় না; ফলে ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০-এ এটি ব্যবহার করা যায়। আর কাঁচামালগুলো এমনভাবে নির্বাচন করা হয়েছে যাতে নিরন্তর বেকিং প্রক্রিয়ার সময়ও গ্যাস নির্গমন কম থাকে। দৈনন্দিন জীবনে এর ফলে ত্রুটি কমে যায়, CD নিয়ন্ত্রণ ভালো থাকে, আর তাপীয় ব্যয়ও নিয়ন্ত্রণে থাকে।
লিথোগ্রাফিতে এর গুরুত্ব কী?
লিথোগ্রাফি ও ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায় তাপীয় অবস্থা কোনো গৌণ বিষয় নয়—এটাই প্রক্রিয়ার অংশ। এই হিটারটি বেকিং প্রক্রিয়াকে নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে লাইনের প্রস্থ, সাইডওয়ালের কোণ এবং অবশিষ্ট ফিল্মের পুরুত্ব নির্দিষ্ট মানে থাকে। এর ফলে ভালো ওয়েফারগুলো নষ্ট হওয়া থেকে রক্ষা পায়।
এটি ২৪/৭ কাজ করে; দীর্ঘ সময় ধরেও কোনো ত্রুটি দেখা যায় না। এটাই হাই-ভলিউম উৎপাদনের জন্য প্রয়োজন। দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেওয়ার কারণে অপারেটিং খরচও কমে যায়।
কী করা উচিত?
ইন্টিগ্রেশনটি সহজ; কিন্তু কার্বন ন্যানোটিউবের ক্ষেত্রে তাপমাত্রার সীমা ও নিয়ন্ত্রণ প্রক্রিয়া খুবই গুরুত্বপূর্ণ। টুলটির তাপীয় বৈশিষ্ট্যগুলো সামঞ্জস্য করে কন্ট্রোলারটিকে ঠিকমতো সেট করতে হবে।
PID সেটিংগুলো ঠিক করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত টেস্ট চালানো উচিত; আর সব প্রক্রিয়া মোডে প্রোফাইলগুলো ঠিক আছে কিনা তা যাচাই করা উচিত।