ফ্যাব ফ্লোরে, বেকিং প্রক্রিয়াটিই হলো উৎপাদনের ফলাফল নির্ধারণের গুরুত্বপূর্ণ ধাপ। সফট বেক বা হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় ২°C এর পার্থক্যও উৎপাদিত পণ্যের গুণমানকে প্রভাবিত করতে পারে। উত্তপ্ত অবস্থায় উৎপন্ন কোনো কণাই উৎপাদিত পণ্যকে নষ্ট করতে পারে। আমরা ওয়েফার হিটিং সাপোর্ট ব্যবহার করে এই ধরনের প্রভাবগুলো দূর করেছি।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা সাবস্ট্রেটের উপর ওয়েফারের তাপীয় সমানতা ধরে রাখি—±0.1°C এর মধ্যে। এর ফলে প্রতিটি অংশই সমান তাপীয় পরিবেশ পায়। এটি Class 1–100 ক্লিনরুমে কাজ করে; এখানে কণার পরিমাণ নিয়ন্ত্রণে থাকে। উত্তপ্ত অবস্থায় কোনো কণা উৎপন্ন হয় না। তাপমাত্রার পুনরাবৃত্তি ±0.2°C এর মধ্যে থাকে; এর ফলে লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়াটি নির্ভরযোগ্য থাকে। ডিজাইনটিতে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড উপাদান ব্যবহৃত হয়েছে; এর ফলে দ্রুত ও নিয়ন্ত্রিত উত্তপ্তি সম্ভব হয়। হট জোনটি কম গ্যাস নির্গমনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; এর ফলে ফটোরেসিস্টের গুণমান অক্ষুণ্ণ থাকে।
লিথোগ্রাফিতে এটি কেন কার্যকর? সফট বেক প্রক্রিয়াটি দ্রবণীয় পদার্থ অপসারণ ও ফিল্মের চাপ নিয়ন্ত্রণে সাহায্য করে; আর হার্ড বেক প্রক্রিয়াটি ফিল্মের আঠালোতা ও ইটচ রেজিস্ট্যান্স নিয়ন্ত্রণে সাহায্য করে। এই দুটি প্রক্রিয়াকে নিয়ন্ত্রণ করার ফলে স্থিতিশীল CD উৎপন্ন হয়, ত্রুটি কমে যায়, এবং প্রথম প্রচেষ্টাতেই উৎপাদন হয়। দক্ষ তাপীয় নিয়ন্ত্রণের ফলে কম শক্তি ব্যবহৃত হয়, আর রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজনও কমে যায়। আমাদের যন্ত্রগুলো ৫,০০০+ ঘন্টা কাজ করেছে; আউটপুট হ্রাস মাত্র ৫% এরও কম। এর ফলে লাইন-ওয়াইডথ নিয়ন্ত্রণ সম্ভব হয়, আর অপ্রয়োজনীয় অংশগুলো কমে যায়।
কিছু ব্যবহারিক নোট:
ইনস্টলেশনের সময় তাপীয় প্রোফাইলটিকে আপনার কোটার/ট্র্যাক চেম্বারের জ্যামিতির সাথে মিলিয়ে নিতে হবে; আর এক্সহাস্ট ও কুল্যান্টের সামঞ্জস্যও নিশ্চিত করতে হবে। র্যাম্প রেট ও ওভারশুট নিয়ন্ত্রণের জন্য স্বল্প সময় প্রয়োজন। একবার সঠিকভাবে সামঞ্জস্য হয়ে গেলে, সিস্টেমটি ২৪/৭ কাজ করতে পারে। কিন্তু ক্লিনরুমের বায়ুপ্রবাহকে স্থিতিশীল রাখতে হবে—কারণ ল্যামিনার ফ্লোতে পরিবর্তন হলে ওয়েফারের কিনারায় সামান্য পরিবর্তন ঘটতে পারে।