Jak zabránit ozonu v ničení vaší čisté místnosti třídy 100
Stalo se vám někdy, že se vaše alarmy na ozon spustily bez zjevného důvodu? Je to noční můra.
Většina běžných infračervených lamp způsobuje otravný efekt – vyvolávají chemickou reakci ve vzduchu, která vytváří ozon ($\text{O}_3$). V prostředí třídy 100 to představuje katastrofu. Ozon ničí citlivé polymery a narušuje procesy spojené s dopováním polovodičů. V podstatě jde o neviditelný kontaminant, který se potají dostane dovnitř a zkazí veškerou vaši práci.
Našli jsme způsob, jak tomu zabránit. Pomocí vysoce čistého syntetického křemene a filtrování určitých vlnových délek zachováme teplo, ale eliminujeme ozon.
Věda za tím je vlastně docela jednoduchá.
Ozon vzniká, když krátkovlnné UV záření (vše pod 240 nm) působí na molekuly kyslíku. Abychom tuto reakci zastavili, nastavíme naše lampy tak, aby pracovaly v středně až dlouhovlnném infračerveném spektru.
Používáme křemenné trubice, které fungují jako štít – zcela blokují tu oblast vakuum-UV záření. Stále dostáváte veškerou potřebnou tepelnou energii pro vysychání nebo zpracování materiálů, ale bez fotochemických problémů.
Všechno záleží na materiálech.
Používáme křemen s téměř nulovými nečistotami. Proč? Kvůli „uvolňování plynů“. Když levná lampa dosáhne provozní teploty, může uvolnit uzavřené plyny. Pokud máte čistou linku, nemůžete dovolit, aby se z povrchu lampy uvolňovaly částice prachu.
Abychom to vyřešili, leštíme křemen pomocí vysokoteplotního procesu. Tím odstraníme drobné povrchové trhliny, takže vše zůstane čisté.
Jedna poznámka ohledně designu: tyto lampy mají malé rozměry, takže se snadno vměstnají do vašeho stávajícího pouzdra. Do malého prostoru dokážou vydávat hodně tepla. Proto musíte zajistit, aby vaše chladicí ventilátory byly dostatečné. Pokud je proud vzduchu příliš slabý, lampy se přehřejí a poškodí se jejich těsnění.
Jak je používat.
V podstatě se jedná o náhradu za vaše běžné infračervené topidla – ať už zpracováváte waferové desky nebo sterilizujete lékařské vybavení. Stále máte rychlý čas na rozehřátí, ale vaše senzory na ozon zůstanou v klidu.
Tyto lampy jsou navrženy tak, aby vydržely nepřetržitý provoz 24/7. Jen jedna věc: udržujte napětí stabilní. Náhlé výkyvy napětí jsou nejrychlejší způsob, jak poškodit vlákna v lampách. Udržujte napětí stabilní a lampy budou fungovat bez problémů.