Jak získat více tepla z lamp na oplach waferů
Pokud jste někdy pracovali s vodotěsnými IR lampami při oplachu waferů, víte, jaké to je. Není to jen otázka ohřevu povrchu – vlastně bojujete proti kapalině použité k oplachu, která se snaží všechno ochladit.
Skutečný problém? Únik energie. Příliš mnoho tepla se dostává do rámu stroje místo toho, aby působilo na wafer. Proto používáme reflexory pokryté zlatem.
Proč zlato?
Představte si běžný hliníkový reflexor jako nádobu s netěsnostmi – absorbuje příliš mnoho infračerveného záření. Zlato je jiné – funguje jako vysoce kvalitní zrcadlo pro teplo. Místo toho, aby lampa vysílala energii do všech směrů, zlatá vrstva posouvá fotony přímo dopředu. Tím se paprsek zaměří přímo na wafer. Je to jednoduchý mechanismus, ale díky němu skutečně každý watt energie plní svůj účel.
Problémy s vodotěsnými zařízeními
Tyto lampy jsou navrženy tak, aby odolaly vlhkému prostředí. Existují tedy těsnění, aby chemikálie používané k oplachu nepoškodily elektrody nebo nezničily pojistku.
Ale problém je v tom, že když soustředíte tolik energie do jednoho paprsku, všechno rychle zahřeje. Musíte se ujistit, že váš chladicí systém dokáže zvládnout tento nápor. Pokud rámek nedokáže odvést přebytečné teplo, kov se rozšiřuje. A jakmile se to stane, změní se také bod fokusu – vaše topení už nefunguje tam, kde má.
Několik tipů
Zlato zvyšuje efektivitu přenosu tepla, ale je trochu náročné na údržbu. Nesnáší špínu. I tenká vrstva chemických zbytků nebo prachu na povrchu zlata může zničit jeho reflexní schopnosti. Okamžitě si všimnete poklesu teploty waferu. Řešení je jednoduché: dodržujte přesný plán údržby. Nenechte sebou prach nahromadit.
Ještě jeden tip, pokud tyto lampy nahrazujete ve staré linii: pečlivě zkontrolujte zdroj napájení. Protože hustota energie je tak vysoká, musí být regulace napětí opravdu přesná. Pokud je napětí nestabilní, žhavicí vlákna se spálí mnohem rychleji, než byste chtěli.