Im Bereich der Lithografie lernt man schnell, dass die Temperatur kein Nebenaspekt ist – sie ist vielmehr ein entscheidender Faktor für den gesamten Prozess. Wenn die Temperatur um auch nur einen Grad abweicht, kommt die Kontrolle über die kritischen Abmessungen zum Stillstand. Wenn man die Temperatur an den Rändern höher einstellt, entstehen Probleme mit dem Photoresist – das sind die üblichen Ursachen für Ausschuss und Nacharbeiten. In den Anlagen zur Auftrags- und Entwicklungsphase ist die thermische Leistung keine zusätzliche Eigenschaft – sie ist vielmehr eine Notwendigkeit.
Was technisch wichtig ist: Wir haben unseren Infrarotheizer so konstruiert, dass er zum thermischen Bedarf des hochentwickelten Photoresists passt. Die Kurzwellen-Infrarotkomponenten leiten die Wärme direkt in den Photoresist – dadurch kann die Erhitzung schnell erfolgen, ohne dass der Wafer durch hohe Temperaturen geschädigt wird. So lässt sich eine Homogenität der Temperatur auf dem Wafer bei ±0,1°C erreichen – und die Genauigkeit bleibt auch nach Tausenden von Zyklen erhalten.
Das System ist für Reinräume der Klassen 1 bis 100 geeignet. Zudem sorgt die Konstruktion dafür, dass keine Staubpartikel auf den Wafer gelangen. Keine Ausgasungen und ein versiegelter Heizkörper verhindern Kontaminationen während des Aufheizvorgangs. In der Praxis bedeutet das eine zuverlässige Funktion rund um die Uhr – ohne unplanmäßige Ausfälle. Zudem wird weniger Energie verbraucht, da der Heizkörper schnell zwischen den Chargen wieder zur Verfügung steht.
Warum es hier funktioniert: In den Produktionsanlagen muss die Temperatur dem vorgegebenen Schema folgen – nicht der Raumtemperatur. Mit diesem Infrarotheizer bleibt das Aufheizprofil stabil, sodass die kritischen Abmessungen genau kontrolliert werden können. Dadurch werden kürzere Zykluszeiten erreicht, ohne dass dies negative Auswirkungen auf die Qualität hat. Zudem gibt es weniger Wartungsausfälle, da der Heizkörper kühl bleibt, während die Energie genau dort verwendet wird, wo sie benötigt wird – im Photoresist.
Dinge, die man wissen sollte: Der Heizkörper passt in die meisten Anlagen zur Auftrags- und Entwicklungsphase. Allerdings variieren die Abmessungen und die Befestigungsmöglichkeiten je nach Modell. Überprüfen Sie vor dem Einbau die mechanischen Abstände sowie die Kühlkanäle. Planen Sie außerdem einen kurzen Testlauf nach der Installation.
Falls Sie in feuchten Umgebungen arbeiten, achten Sie auf die Dichtigkeit der Anschlüsse. Wir bieten Richtlinien zur Verwendung von Dichtungen, damit die elektrischen Anschlüsse trocken und stabil bleiben.