Hören Sie auf, die Wände zu erhitzen – es gibt eine bessere Methode zum Trocknen in der Fabrik.
Wenn Sie schon einmal mit Geräten zur Trocknung von Halbleitern zu tun hatten, kennen Sie sicherlich das Problem der „heißen Wände“. Wenn man Standardheizungen verwendet, die Energie in alle Richtungen abgeben, dann fungieren die Innenseiten der Maschine im Grunde wie riesige Schwämme für Wärme.
Das ist ein Problem: Die Bediener müssen ständig auf Verbrennungen achten, und man macht sich Sorgen darüber, ob die überschüssige Wärme die internen Komponenten beschädigt. Es handelt sich dabei um einen Energieverschwendung sowie um ein Sicherheitsproblem.
Die Lösung ist eigentlich ganz einfach: Man sollte aufhören, alles zu erhitzen, und stattdessen direktes Infrarotlicht verwenden.
Wie das funktioniert
Stellen Sie sich eine herkömmliche Heizung vor – sie gibt Energie in einem 360-Grad-Kreis ab. In einer beengten Trockenkammer erreicht die meiste Wärme den Wafer gar nicht, sondern trifft nur auf den Chassis.
Wir machen das anders: Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotlampen mit vergoldeten Reflexoren. Anstelle eines breiten Wärmeausstrahls entsteht eher ein fokussierter Strahl, der direkt auf das Substrat gerichtet ist.
Das Ergebnis? Die Wärme geht genau dorthin, wo sie hingehört. Die Wände bleiben kühl, denn sie dienen nicht mehr als Wärmeabsorber.
Sicherheit und Nachteile
Da die Wärme fokussiert ist, wird die Außenseite der Maschine nicht übermäßig erhitzt. Dadurch können riesige Kühlkörper sowie dicke Isolierschichten weggelassen werden. Die Maschine fühlt sich dadurch kühler an.
Aber es gibt einen Haken: Man muss präzise vorgehen. Da diese Lampen sehr intensiv sind, ist der Wärmefluss am Fokuspunkt extrem hoch. Wenn der Wafer nur wenige Millimeter daneben liegt, kommt es zu lokaler Überhitzung. Man kann die Maschine nicht einfach so stehen lassen – der PLC muss perfekt eingestellt werden, damit die Wärme richtig geregelt wird. Andernfalls besteht die Gefahr, dass das Substrat beschädigt wird.
Warum das wichtig ist
Wenn man aufhört, die Wände zu erhitzen, passieren ein paar Dinge: Erstens muss das Lüftungssystem nicht mehr so hart arbeiten, um den Raum atembar zu halten. Zweitens verkürzen sich die Aufwärmlzeiten erheblich. Man muss nicht länger warten, bis die gesamte Kammer erwärmt ist, bevor man mit dem Prozess beginnen kann.
So erhält man einen schnelleren Prozess, eine kühmere Maschine – und weniger Stress.