دیگر اجازه ندهید گرما در سیستمهای حرارتی شما هدر برود!
مشکلات مربوط به هیترهای مادون قرمز استاندارد این است که انرژی زیادی از آنها هدر میرود؛ یعنی بخش عمدهای از انرژی، به جای اینکه برای کار خود استفاده شود، در بدنه دستگاه از بین میرود. در فرآیندهای تولید نیمههادی، چنین هدررفتی واقعاً مشکلساز است.
به همین دلیل، از آینههای پوششدار با جنس طلا استفاده میکنیم. البته این روش کمی پیچیده به نظر میرسد، اما هدف سادهای دارد: ما میخواهیم هر وات از انرژی، دقیقاً به سمت ویفر برود، نه به دیوارههای دستگاه.
چرا طلا؟
اکثر افراد از آلومینیوم برای ساخت آینهها استفاده میکنند؛ البته آلومینیوم ارزان است. اما آلومینیوم تمایل دارد انرژی زیادی را در بخش موجهای بلند مادون قرمز جذب کند. طلا متفاوت است؛ طلا بیش از ۹۸٪ از انرژی مادون قرمز را منعکس میکند.
وقتی که داخل حفره هیتر را با طلا پوشانیم، آن «نواحی بیفایده» که گرما از آنجا خارج میشود، از بین میروند. انرژی در یک جهت متمرکز میشود؛ در نتیجه، میتوانیم دمای سطح ویفر را به حد مورد نظر برسانیم، بدون اینکه نیاز به افزایش توان مصرفی داشته باشیم.
رساندن گرما به جای مناسب آن
وقتی که یک هیتر برای ویفر تنظیم میکنید، در واقع به دنبال یکپارچگی در توزیع گرما هستید؛ یعنی میخواهید گرما به طور یکنواخت توزیع شود.
آینههای پوششدار با جنس طلا، زاویه تابش انرژی را کاهش میدهند؛ این امر باعث میشود که افزایش دما سریعتر اتفاق بیفتد، زیرا انرژی دقیقاً به سمت سطح ویفر هدایت میشود. علاوه بر این، این روش باعث میشود سایر بخشهای دستگاه خنکتر بمانند؛ در نتیجه، فشار کمتری بر روی سختافزارهای دستگاه وارد میشود.
معایب
البته طلا نیز بینقص نیست؛ این یک لایه نازک است. اگر با گازهای خورنده یا ذرات ساینده کار کنید، این پوشش میتواند خراشیده شود. وقتی که این پوشش خراب شود، قدرت بازتاب انرژی کاهش مییابد و هزینه برق نیز افزایش مییابد. بنابراین باید دربهای محفظه دستگاه را محکم نگه دارید تا گرد و غبار وارد نشود؛ در این صورت، پوشش طلا سالم باقی خواهد ماند.
توصیههای عملی برای کارخانهها
اگر از آینههای پوششدار با جنس طلا استفاده کنید، میتوانید میزان توان مصرفی را کاهش دهید و در عین حال، سرعت تولید را حفظ کنید. این روش برای سیستمهای برقی شما بسیار مفید است.
همچنین، اگر با ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری که دارای الگوهای گرمایی ناهموار هستند، کار میکنید، فقط افزایش توان لامپ راهحل مناسبی نیست؛ مشکل معمولاً در هندسه بازتاب انرژی است. بهتر است از سیستمهای پوششدار با جنس طلا استفاده کنید؛ این روش باعث میشود الگوی گرمایی بهتر شود و کار شما راحتتر خواهد بود.