در فرآیند لیتوگرافی، مرحله گرم کردن فیلم حساس، صرفاً یک مرحله گرمکردن ساده نیست؛ بلکه این مرحله، فیلم حساس را در جای خود ثابت میکند. در این مرحله، محلولهای موجود در فیلم خارج شده و دمای مناسب برای فرآیند به دست میآید. اگر هیتر کار خود را به درستی انجام ندهد، با ضخامت ناهموار فیلم، تجمع مواد در لبههای فیلم، و انحرافات در میزان نور دریافتی مواجه خواهیم شد. در نتیجه، مجبور خواهیم بود کارها را دوباره انجام دهیم؛ همچنین، مقدار زیادی مواد بیفایده هدر خواهد رفت.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما هیتر مورد استفاده برای تبخیر محلولها را با استفاده از انرژی مادون قرمز کنترلشده طراحی کردهایم؛ این انرژی درست در جایی که نیاز است، یعنی درون فیلم، تخصیص داده میشود؛ بدین ترتیب، پشت ورق سیلیکونی آسیب نمیبیند. در سطح مورد نظر برای گرم کردن، دمای ورق سیلیکونی را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد نگه میداریم؛ همچنین، تکرارپذیری عملکرد هیتر را نیز بالا نگه میداریم. منطقه گرمایشی نیز از سایر بخشها جدا شده است تا از انتقال گرما به بخشهای مجاور جلوگیری شود.
ویژگیهای محیط تمیز
مواد مورد استفاده در این دستگاه، مطابق با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ هستند؛ همچنین، میزان گازهای آزاد شده در محیط بسیار کم است؛ طراحی دستگاه نیز به گونهای است که از آلودگی ورق سیلیکونی جلوگیری شود. هیتر به صورت ۲۴/۷ کار میکند و خروجی آن پایدار است؛ این دستگاهها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند و تغییرات دمایی کمتر از ۵٪ داشتهاند.
چرا این موضوع در فرآیند تولید اهمیت دارد؟
در فرآیند تولید، این ویژگیها منجر به داشتن ابعاد پایدار و کمترین انحرافات ممکن میشوند. با داشتن دمای کنترلشده، میتوانیم زمان گرم کردن فیلم را کاهش دهیم، بدون اینکه از کیفیت فیلم خطری وجود داشته باشد؛ همچنین، میزان انرژی مصرفی نیز کمتر خواهد بود، زیرا گرما درست در جای مورد نظر تخصیص داده میشود.
نکات مهم
هنگام نصب دستگاه، باید به محدودیتهای حرارتی و مکانیکی توجه کرد؛ هیتر زمانی به خوبی کار میکند که سطح مورد نظر صاف، تمیز و متقارن باشد؛ در غیر این صورت، یکنواختی فیلم مختل خواهد شد. برای رسیدن به تعادل حرارتی، نیاز به زمان کمی برای گرم شدن دستگاه وجود دارد؛ همچنین، باید مقدار محلول مورد استفاده در محدوده طراحی شده باشد.
برنامهریزی برای کالیبراسیون دورهای
برای حفظ دقت دمایی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، باید به طور دورهای کالیبراسیون دستگاه انجام شود؛ دقت خودبهخود حفظ نمیشود.