Pourquoi nous passons à la polymérisation par rayonnement infrarouge pour le traitement des wafers
Soyons honnêtes : personne n’aime avoir affaire à des méthodes de séchage basées sur des solvants ou à ces catalyseurs chimiques encombrants. Dans notre monde, le concept d’« écologie » n’est pas juste un argument marketing utilisé dans les brochures. C’est plutôt une exigence essentielle pour la conception de nos outils. C’est pourquoi nous utilisons la polymérisation par rayonnement infrarouge. Cette méthode utilise des rayonnements électromagnétiques pour provoquer la polymérisation ou l’évaporation, sans aucun problème supplémentaire.
Comment cela fonctionne réellement ?
Pensez à un four de convection classique : il doit d’abord chauffer l’air, ce qui est lent et inefficace. Avec le rayonnement infrarouge, l’énergie atteint directement la surface du wafer. C’est un avantage énorme, car nous pouvons ainsi éviter l’utilisation de systèmes de circulation d’air complexes. Vous savez, ceux qui fuient constamment des particules ou qui nécessitent des filtres coûteux et réguliers. Nous ciblons simplement les bandes d’absorption spécifiques du revêtement. La chaleur est dirigée exactement où elle est nécessaire, et nulle part ailleurs. Cela permet d’économiser beaucoup d’énergie.
Nettoyage du processus
La polymérisation traditionnelle implique souvent l’utilisation de solvants contenant beaucoup de COV, ainsi que de stabilisateurs à base de plomb. Avec le rayonnement infrarouge, nous pouvons simplement arrêter d’utiliser ces produits chimiques. Comme la chaleur agit instantanément, nous pouvons utiliser des résines sans halogènes, qui se polymérisent sous l’effet des UV ou de la chaleur. C’est une façon beaucoup plus propre de travailler. Le wafer reste sec, et aucune fumée toxique n’est émise dans la salle propre. C’est donc plus sûr.
Les défis à surmonter
Ce n’est pas tout à fait magique. Les lampes à rayonnement infrarouge à haute intensité génèrent beaucoup de chaleur. C’est parfait pour accélérer le processus de polymérisation, mais il faut gérer cette chaleur avec précaution. Si vos plaques de refroidissement ne suffisent pas, vous rencontrerez des problèmes : le wafer pourrait se déformer ou présenter des zones trop chaudes. Il faut trouver un équilibre entre la puissance de la lampe et la masse thermique du wafer, afin de ne pas endommager ses bords. Nous avons conçu ces systèmes de manière à qu’ils puissent remplacer les anciens systèmes de convection. Vous remarquerez que leur taille est plus petite, et vos factures d’électricité diminueront. Assurez-vous simplement que vos capteurs fonctionnent correctement, car le processus de démarrage est très rapide. Vraiment très rapide.