בתהליך הליתוגרפיה, מהר מאוד לומדים שהטמפרטורה אינה פרט זניח – היא למעשה הגורם החשוב ביותר בתהליך. אם החימום אינו אחיד, אפילו במידה של מעט מעלות, השליטה בממדים החשובים של החומר נפגעת. אם החימום חזק מדי, עלולים להיווצר בעיות כמו שכבות לא רצויות על החומר, וזה עלול לגרום לבעיות בתהליך הייצור. במערכות למריחת/פיתוח החומר, הביצועים התרמיים אינם רק יתרון – הם חלק בלתי נפרד מהתהליך עצמו.
מה חשוב מבחינה טכנית? בנינו את המסוף לחימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום כך שיתאים לדרישות התרמיות של החומרים המשמשים בתהליך הליתוגרפיה. רכיבי הקרינה באורך גל קצר מעבירים את החום ישירות לחומר, כך שהחימום מתבצע במהירות, מבלי לגרום ללחץ יתר על הוואפר. כך נשמרת אחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C על כל שטח הוואפר, והתהליך יכול להתבצע שוב ושוב לאחר אלפי סיבובים.
המערכת מתאימה לשימוש בחדרים נקיים מסוג Class 1 ועד Class 100. העיצוב שלה מונע הצטברות של חלקיקים על הוואפר. אין פליטה של חומרים, והמערכת סגורה לחלוטין, מה שמונע זיהום במהלך החימום. בפועל, זה אומר עמידות 24/7, ללא הפסקות בלתי צפויות, ושימוש יעיל באנרגיה, מכיוון שהמערכת מתאוששת במהירות בין הסיבובים השונים.
למה זה עובד כאן? במערכות למריחת/פיתוח החומר, הטמפרטורה חייבת להיות קבועה, ולא להשתנות בהתאם לתנאי החדר. עם מסוף החימום הזה, הטמפרטורה נשארת קבועה, כך שהאחידות בממדים של החומר נשמרת, והבעיות הקשורות לשכבות לא רצויות נמנעות. כך ניתן להגדיל את מהירות התהליך, מבלי לפגוע באיכות המוצר. גם התחזוקה פשוטה יותר, מכיוון שהמערכת קרה בזמן החימום, והאנרגיה מופנית למקום הנכון – אל החומר עצמו.
דברים שכדאי לדעת: המסוף יכול להתאים לרוב המערכות למריחת/פיתוח החומר, אך המידות וההתקנה משתנים בהתאם למודל המערכת. יש לבדוק את המרווחים המכניים ואת מסלולי הקירור לפני ההתקנה, ולתכנן ניסוי קצר לאחר ההתקנה.
אם אתם עובדים בסביבות לחותיות, יש לשים לב לאטימות החיבורים. אנו מספקים הנחיות לאטימה כדי לשמור על הממשק החשמלי יבש ויציב.