300 मिमी लंबाई वाली लाइनों पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया के दौरान आधा डिग्री सेल्सियस का भी बदलाव, प्रक्रिया में गंभीर समस्याएँ पैदा कर सकता है; इससे पूरी खेप का नुकसान हो सकता है। हमने कार्बन नैनोट्यूब आधारित हीटर विकसित किया है, ताकि प्रक्रिया के दौरान तापमान स्थिर रहे, और कोई समस्या न हो।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
यह हीटर कार्बन नैनोट्यूब तत्वों पर काम करता है; इसलिए यह तेज़ी से प्रतिक्रिया देता है एवं स्थिर रहता है। इसके कारण वेफर की सतह पर तापमान में ±0.1°C की ही विविधता रहती है, एवं पुनरावृत्ति के दौरान भी ऐसी ही स्थिरता बनी रहती है। इसी कारण “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में भी स्थिरता बनी रहती है।
इस हीटर के कारण लगभग कोई कण ही नहीं उत्पन्न होते; इसलिए यह क्लीनरूम क्लास 1-100 में भी उपयोग किया जा सकता है। सामग्रियों का चयन ऐसा किया गया है कि निरंतर गर्मी देने के दौरान भी गैस उत्सर्जन कम ही रहे। दैनिक स्तर पर, इसका अर्थ है कम दोष, बेहतर नियंत्रण, एवं विश्वसनीय तापमान नियंत्रण।
लिथोग्राफी में इसका क्या महत्व है?
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, तापमान का नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है – यही प्रक्रिया का हिस्सा है। यह हीटर, लाइन की चौड़ाई, साइडवॉल का कोण, एवं शेष फिल्म की मोटाई को नियंत्रित करता है; इससे अच्छे वेफरों को नष्ट करने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
यह हीटर 24/7 काम करता है, एवं लंबे समय तक उपयोग करने पर भी इसमें कोई बदलाव नहीं होता। यही वह विशेषता है जिसकी उच्च-मात्रा में उत्पादन हेतु आवश्यकता होती है। चूँकि यह तेज़ी से प्रतिक्रिया देता है, इसलिए निष्क्रिय समय कम हो जाता है, एवं प्रति वेफर की लागत भी कम हो जाती है।
क्या करना आवश्यक है?
इस हीटर को इंटीग्रेट करना आसान है, लेकिन कार्बन नैनोट्यूब तत्वों के लिए तापमान सीमाएँ एवं नियंत्रण दरें बहुत ही सख्त हैं। आपको उपकरण की ऊष्मा-क्षमता के अनुरूप कंट्रोलर को समायोजित करना होगा, ताकि पूरी प्रक्रिया में एकसमानता बनी रहे।
PID सेटिंग्स को सही ढंग से सेट करने हेतु, एवं सभी प्रक्रिया-मोडों में प्रोफ़ाइल की जाँच करने हेतु एक छोटा परीक्षण आवश्यक है।