अपने वेफर सिस्टमों में ऊष्मा की बर्बादी रोकें
सामान्य इन्फ्रारेड हीटरों में एक समस्या है – वे ऊष्मा को बाहर छोड़ देते हैं। आपकी ऊर्जा का बड़ा हिस्सा मशीन की दीवारों में ही खो जाता है, न कि वेफर पर। अर्धचालक प्रसंस्करण में ऐसी बर्बादी बहुत ही खतरनाक है।
इसीलिए हम सोने से लेपित रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं। यह तो बहुत ही आकर्षक लगता है, लेकिन उद्देश्य बहुत ही सरल है – हम चाहते हैं कि हर वॉट ऊर्जा वेफर पर ही पड़े, न कि मशीन की दीवारों पर।
सोना क्यों?
ज्यादातर लोग एल्यूमीनियम का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि यह सस्ता है। लेकिन एल्यूमीनियम लंबी तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड ऊर्जा को अवशोषित कर लेता है। सोना अलग है… यह लगभग 98% इन्फ्रारेड ऊर्जा को ही परावर्तित कर देता है।
जब हम हीटर के अंदरूनी हिस्सों को सोने से लेपित करते हैं, तो वहाँ ऊष्मा बाहर नहीं जा पाती… ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पड़ती है। परिणाम? आपको आवश्यक तापमान प्राप्त हो जाता है, और आपको अपनी पावर सप्लाई को बढ़ाने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
ऊष्मा को सही जगह पर भेजना
जब आप वेफर हीटर सेट कर रहे होते हैं, तो आप चाहते हैं कि ऊष्मा समान रूप से वितरित हो। सोने से लेपित रिफ्लेक्टरों के कारण ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पड़ती है… इससे तापमान जल्दी ही बढ़ जाता है। इसके अलावा, यह मशीन के अन्य हिस्सों को ठंडा रखता है… जिससे हार्डवेयर पर कम दबाव पड़ता है।
समस्याएँ
लेकिन सोना भी अजेय नहीं है… यह तो एक पतली परत ही है। यदि आप अम्लीय गैसों या कठोर कणों के संपर्क में काम कर रहे हैं, तो यह परत खराब हो सकती है… ऐसी स्थिति में ऊर्जा का परावर्तन कम हो जाता है, और आपका बिजली बिल बढ़ जाता है। इसलिए आपको अपने चैंबर को अच्छी तरह बंद रखना होगा… ताकि सोने की परत सुरक्षित रहे।
वास्तविक जानकारी
यदि आप सोने से लेपित रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं, तो आप अपनी ऊर्जा की मात्रा कम कर सकते हैं… फिर भी आपका उत्पादन स्तर वैसा ही रहेगा। यह आपकी पावर सप्लाई के लिए बहुत ही अच्छा है।
और यदि आपके 300 मिमी वेफर पर ऊष्मा समान रूप से नहीं वितरित हो रही है, तो बस लैंप की ऊर्जा मात्रा बढ़ाने से कोई फायदा नहीं होगा… समस्या तो परावर्तन की प्रक्रिया में ही है। सोने से लेपित रिफ्लेक्टरों का उपयोग करें… इससे ऊष्मा समान रूप से वितरित होगी।