カーボンナノチューブ製造用ヒーター

300mmウェハを扱う際、フォトレジストの焼成中に0.5度ほどの温度変動があれば、重要な寸法精度が狂い、大量のウェハが廃棄されてしまいます。そこで、私たちはカーボンナノチューブを利用したヒーターを開発しました。これにより、工程の各段階で温度が安定して維持され、何の問題も起こりません。 内部で重要と...