クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター
なぜクリーンルーム用のオーブンで対流加熱をIR加熱に置き換えるのか? 半導体工場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要ですが、ほんの少しのほこりでもウェーハの品質を損なってしまいます。 長い間、私たちは従来の対流式オーブンを使ってきました。しかし、巨大な空間全...
半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
なぜ赤外線硬化が半導体乾燥において不可欠なのか
昨今の半導体製造では、誰もが無鉛プロセスに切り替えています。正直なところ、この変化に対応するためには、クリーンで正確かつ効率的な乾燥技術が求められます。
まさにそのために、私たちはクリーンルーム向けの赤外線ハロゲンヒーターを開発しました。余計なものは...