高速応答型赤外線ヒーターバルブ

ファブの現場では、フォトレジストの焼成工程において、適切な温度制御が不可欠です。もし温度が2℃程度しか変わらなくても、それだけで重要な寸法が変わり、品質に悪影響を与える可能性があります。したがって、迅速に熱を供給し、安定した温度を維持しつつ、余分な熱が周囲の部品に影響を与えないようにする必要があり...