열처리 과정에서도 클린룸을 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 수준의 깨끗한 환경을 유지하고 싶다면, 그에 따른 조치가 필요합니다. 아주 작은 양의 가스나 납작한 입자들만으로도 모든 것을 망칠 수 있습니다. 일반적인 적외선 램프는 이러한 요구사항을 충족시키지 못합니다. 왜냐하면 그러한 램프들에는 표면에 불순물이 있거나 저품질의 실링재가 사용되기 때문입니다.
그래서 우리는 초고순도(UHP) 합성 석영을 사용합니다. 이 방식을 사용하면 더 이상 추측할 필요가 없습니다.
UHP 석영의 장점
우리는 고순도의 합성 융합 석영을 램프에 사용합니다. 가장 큰 차이점은 수산기(OH) 함량이 낮다는 것입니다. 쉽게 말해, 램프가 최고 온도에 도달했을 때 휘발성 유기화합물(VOCs)이 방출되지 않는다는 뜻입니다.
반도체 웨이퍼나 고급 광학 유리를 다룰 때는 아주 작은 먼지 한 점도 결함이 됩니다. 이를 방지하기 위해 우리는 UHP 램프의 표면을 화학적으로 처리하고 진공 상태에서 가열하여 표면이 완전히 불활성 상태로 유지되도록 합니다.
전력과 “호흡 공간” 문제
이러한 고출력 UHP 램프는 강력한 단파 방사선을 방출합니다. 이는 부품을 직접 가열할 수 있어 에너지 낭비가 없다는 장점이 있습니다. 하지만 단점도 있습니다. 이러한 램프는 높은 온도에서 작동하기 때문에 석영이 상당히 팽창합니다. 만약 공간이 너무 좁다면 석영이 깨질 수 있습니다. 따라서 재료가 움직일 수 있는 충분한 공간을 확보해야 합니다.
조심해야 할 점들
우리는 밀폐된 연결부를 사용하여 가스가 새어 나가지 않도록 합니다. 만약 공기가 할로겐 회로로 들어가면 산소가 섞여들어와 필라멘트가 예상보다 빨리 손상됩니다. 또한, UHP 석영은 일반적인 유리보다 약간 더 부서지기 쉽습니다. 열충격에는 잘 견디지만, 물리적인 충격에는 견디지 못합니다.
그리고 꼭 먼지가 없는 장갑을 사용하세요. 단 하나의 지문만으로도 기름이 남게 되며, 그 기름이 석영에 남으면 “핫 스팟”이 생깁니다. 이로 인해 램프가 조기에 고장날 수 있습니다. 이는 정말 원하지 않는 문제입니다.