클린룸 오븐 적외선 히터

왜 클린룸 오븐에서는 대류식 난방 대신 적외선 난방을 사용하는가? 반도체 공장에서 일해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 매우 정확한 온도 조절이 필요하지만, 단 한 알의 먼지라도 웨이퍼를 망칠 수 있습니다. 오랫동안 우리는 전통적인 대류식 오븐을 사용해왔습...