오존이 깨끗한 100등급 클린룸을 망치는 것을 막는 방법
혹시 아무 이유 없이 오존 경보가 울리는 적이 있나요? 정말 끔찍한 상황입니다.
대부분의 일반적인 적외선 램프는 공기 중에서 화학 반응을 일으켜 오존($\text{O}_3$)을 생성합니다. 100등급 클린룸에서는 이것이 재앙과 같습니다. 오존은 섬세한 폴리머를 손상시키고 반도체에도 악영향을 미칩니다. 결국 오존은 보이지 않는 오염물질로서, 여러분의 노력을 망쳐버립니다.
우리는 이 문제를 해결할 방법을 찾아냈습니다. 고순도의 합성 석영을 사용하여 특정 파장의 빛을 필터링함으로써 열은 그대로 유지하면서도 오존만 제거할 수 있습니다.
사실 원리는 꽤 간단합니다.
오존은 단파 자외선(240nm 미만의 빛)이 산소 분자와 충돌할 때 발생합니다. 이러한 반응을 막기 위해 우리는 램프가 중장파 적외선 영역에서 작동하도록 설계했습니다.
또한 석영관을 사용하여 그러한 자외선을 완전히 차단합니다. 그래서 여전히 치유나 건조에 필요한 열 에너지는 얻을 수 있지만, 오존은 남지 않습니다.
모든 것은 소재에 달려 있습니다.
우리는 불순물이 거의 없는 융합 실리카 석영을 사용합니다. 왜냐하면 저가형 램프는 작동 온도에 도달했을 때 내부에 갇힌 가스를 방출할 수 있기 때문입니다. 먼지가 없는 환경에서 작업할 때는 램프의 표면에서 입자가 떨어지는 것을 막아야 합니다.
이를 해결하기 위해 석영을 연마합니다. 그러면 표면의 미세한 균열들이 사라져 모든 것이 깨끗해집니다.
디자인과 관련하여 한 가지 주의할 점이 있습니다. 이 램프들은 크기가 작아 기존의 장비에 쉽게 장착될 수 있습니다. 하지만 작은 공간에 많은 열이 발생하기 때문에, 쿨링 팬이 제대로 작동하는지 반드시 확인해야 합니다. 공기 흐름이 약하면 램프가 과열되어 손상될 수 있습니다.
실제 사용 방법
이 램프들은 웨이퍼 처리나 의료 기기 소독 등에 사용되는 일반적인 적외선 히터를 대체할 수 있습니다. 여전히 빠른 가동 시간을 얻을 수 있지만, 오존 센서는 소음을 내지 않습니다.
우리는 24/7 연속 생산 환경에서도 견딜 수 있도록 이 램프들을 설계했습니다. 한 가지만 기억하세요. 전압을 안정적으로 유지해야 합니다. 전압 변동은 필라멘트를 손상시키는 가장 빠른 원인입니다. 전압을 안정적으로 유지한다면, 이 램프들은 계속해서 잘 작동할 것입니다.