MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼 건조: 왜 적외선을 사용하는가? MEMS 센서를 다룰 때는 매우 신중해야 합니다. 웨이퍼에 남아 있는 수분은 한 방울도 있어서는 안 되지만, 너무 강하게 가열하면 그 미세한 구조들이 파괴될 수 있습니다. 오랫동안 우리는 단순히 뜨거운 공기를 사용해 웨...