바이오 센서 제작용 적외선 램프
바이오센서 제작 시의 열 관리
바이오센서를 제작할 때는 열이라는 요소가 매우 중요합니다. 폴리머를 경화시키거나 기판을 접합시키기 위해서는 열이 필요하지만, 너무 많은 열이 가해지면 생물학적 반응물들이 즉시 손상됩니다. 따라서 적절한 열량을 조절하는 것이 매우 중요합니...
수소 센서 제작용 히터
왜 수소 센서 제조 공장에서는 뜨거운 공기 대신 적외선을 사용하는가?
공장에서 일해본 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 센서 층의 안정성을 유지하기 위해서는 온도 조절이 매우 중요합니다. 오랫동안 우리는 뜨거운 공기를 이용해 온도를 조절해왔습니다. 물론 이 방법도 효과적...
탄소나노튜브 제조용 히터
300mm 웨이퍼를 사용할 경우, 포토레지스트를 건조하는 과정에서 0.5도 정도의 온도 변동만으로도 치명적인 오차가 발생하여 전체 생산 물량이 낭비될 수 있습니다. 그래서 저희는 공정 중에도 일관된 열 특성을 유지할 수 있도록 탄소나노튜브를 이용한 가열 장치를 개발했...