초고순도 물 가열 램프

팹 내에서는, 소프트 베이크 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 그로 인해 포토레지스트에 잠재적인 결함이 생길 수 있습니다. 또한 하드 베이크 과정에서 온도가 균일하지 않다면 시간만 낭비하는 것이 아니라, 전체 제품의 품질까지 저하됩니다. 따라서 가열 요소는...