MEMS 웨이퍼 건조: 왜 적외선을 사용하는가? MEMS 센서를 다룰 때는 매우 신중해야 합니다. 웨이퍼에 남아 있는 수분은 한 방울도 있어서는 안 되지만, 너무 강하게 가열하면 그 미세한 구조들이 파괴될 수 있습니다. 오랫동안 우리는 단순히 뜨거운 공기를 사용해 웨...

왜 웨이퍼 경화 과정에서 절연성 테스트가 그렇게 중요한가요? 웨이퍼 경화용 램프는 엄청난 열을 발생시킵니다. 이러한 램프들이 고성능 반도체 장비에 사용될 때, 그 반사판은 단순히 빛을 반사하는 역할만 하는 것이 아니라, 전기 회로의 핵심적인 부분으로 작용합니다. 만약...

시간 낭비를 그만하세요: 왜 웨이퍼 가열에는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한가 반도체 생산 현장에서 일해본 사람이라면 기다리는 동안의 짜증스러움을 잘 알 것입니다. 반도체 처리 과정에서는 더 이상 뜨거운 공기를 주변으로 불어넣는 방식 대신, 정밀한 적외...

왜 웨이퍼 처리에 적외선 경화 방식을 사용하는가? 솔직히 말해서, 누구도 용매를 사용한 건조 과정이나 복잡한 화학 촉매를 다루는 것을 좋아하지 않습니다. 우리에게 있어 “친환경적”이라는 것은 단순히 홍보용 문구가 아닙니다. 그것은 우리가 도구를 만들 때 반드시 고려해...

와이어 처리 시스템에서 발생하는 열 손실을 막으세요. 일반적인 적외선 히터의 문제점은 에너지가 누수된다는 것입니다. 에너지의 상당 부분이 기계의 본체 안으로 사라져버리고, 실제로 웨이퍼에 전달되지 않습니다. 반도체 처리 과정에서 이러한 에너지 낭비는 큰 문제가 됩니다...

도구를 가열하는 것을 그만두고, 대신 웨이퍼를 가열하세요. 웨이퍼를 가열할 때는 에너지가 오직 기판에만 전달되어야 합니다. 다른 곳으로 에너지가 새어 나가서는 안 됩니다. 일반적인 적외선 램프의 문제점은 열이 사방으로 퍼진다는 것입니다. 이로 인해 비싼 장비의 내부...

비용 과대광고를 떨쳐버리자 소음을 없애고 본질적인 문제에 집중해보죠. 우리가 말하는 것은 바로 이곳에서 제작된 적외선 가열등입니다. 이 제품들은 반도체 웨이퍼의 산화 과정에 사용되는 비싼 수입 장비를 대체할 수 있습니다. 진짜 중요한 질문은 간단합니다. 과연 이 제품...

제조 공장에서는, 단 0.5도만큼의 온도 변동이 있어도 포토레지스트의 균일성이 깨집니다. 그러면 생산 라인이 멈추고, 생산 효율도 떨어집니다. 저희는 이러한 온도 변동을 사전에 방지하기 위해 웨이퍼 탈가스용 적외선 히터를 개발했습니다. 핵심은 무엇인가? 저희는 이 히...