Hentikan pemanasan dinding: Cara yang lebih baik untuk proses pengeringan
Jika anda pernah bekerja dengan peralatan pengeringan semikonduktor, pasti anda tahu masalah yang timbul akibat “dinding yang panas”. Apabila menggunakan pemanas konvensional, haba akan tersebar ke semua arah. Dinding dalaman mesin tersebut akan bertindak seperti span yang menyerap haba tersebut.
Ini merupakan situasi yang merepotkan. Para pekerja perlu risau tentang kemungkinan terbakar, dan mereka juga perlu sentiasa memastikan bahawa haba berlebihan tidak merosakkan komponen dalaman mesin. Ini merupakan pembaziran tenaga dan menimbulkan masalah keselamatan.
Cara penyelesaiannya sebenarnya sangat mudah: hentikan pemanasan dinding tersebut, dan gunakan cahaya inframerah yang berarah.
Bagaimana ia berfungsi
Bayangkan pemanas biasa. Ia mengeluarkan haba ke semua arah, 360 darjah. Dalam bilik pengeringan yang sempit, kebanyakan haba tersebut tidak sampai ke wafer, sebaliknya hanya memanaskan badan mesin itu sendiri.
Kita pula menggunakan lampu inframerah berfrekuensi tinggi yang dilengkapi dengan reflektor berlapis emas. Cahaya ini hanya menuju ke permukaan wafer sahaja. Akibatnya, haba hanya sampai ke tempat yang sepatutnya. Dinding mesin tetap sejuk kerana ia tidak digunakan sebagai penyerap haba.
Keselamatan dan kelemahan
Oleh kerana haba disalurkan secara terarah, bahagian luar mesin tidak akan menjadi terlalu panas. Anda boleh menghilangkan lapisan penyejuk yang tebal dan bahan isolasi yang berat, agar permukaan mesin tidak terlalu panas untuk disentuh. Namun, anda perlu berhati-hati.
Kerana intensiti cahaya yang digunakan sangat tinggi, haba di titik fokus akan menjadi sangat ekstrem. Jika wafer berada sedikit menyimpang, ia akan menyebabkan pemanasan berlebihan. Anda tidak boleh sekadar “membiarkannya begitu saja”. Sistem kawalan PLC perlu diatur dengan tepat supaya dapat mengawal aliran haba dengan baik, agar substrat tidak rosak.
Mengapa ini penting
Apabila anda berhenti memanaskan dinding, beberapa perkara akan berlaku. Pertama, sistem HVAC tidak perlu bekerja keras untuk menjaga suhu bilik agar sesuai untuk didiami. Selain itu, masa yang diperlukan untuk memanaskan mesin juga akan berkurangan. Anda tidak perlu menunggu selama mana untuk mesin benar-benar panas sebelum boleh memulakan proses pengeringan.
Anda akan mendapat proses pengeringan yang lebih cepat, mesin yang lebih sejuk, dan kurang tekanan.