Di bilik pengeluaran, proses pemanasan bahan fotorezist menentukan kadar haba yang diperlukan. Jika suhu pemanasan berubah sebanyak 2°C sahaja, itu sudah cukup untuk mengganggu dimensi kritikal bahan tersebut dan menyebabkan masalah lain. Anda memerlukan haba yang tinggi, tetapi pada masa yang sama, haba tersebut harus stabil dan tidak meninggalkan zarah-zarah yang boleh merosakkan bahan tersebut.
Apa yang penting di belakang tabir
Kami menggunakan mentol pemanas inframerah yang dibina daripada unsur halogen berfrekuensi rendah, yang disimpan dalam kristal kuarsa berkualiti tinggi. Masa tindak balasnya kurang dari 200 ms, jadi suhu akan mencapai tahap yang ditetapkan dengan cepat setelah pintu dibuka atau ditutup. Di kawasan yang dipanaskan, ketekalan suhu pada tahap wafer ialah ±0.1°C, dan kebolehulangan proses pemanasan pula ialah ±0.2°C dalam masa 5,000 jam atau lebih, dengan perubahan suhu yang kurang dari 5%. Reka bentuk filamen dan reflektor direka sedemikian rupa agar tenaga dapat disalurkan ke tempat yang diperlukan, sekaligus mengelakkan komponen lain daripada menyerap haba yang tidak diperlukan.
Mengapa ia berkesan dalam proses pengeluaran
Dalam proses litografi dan proses pelapisan/baking, mentol ini membantu menjaga ketekalan suhu bahan fotorezist, sekaligus memastikan kualiti permukaan bahan tersebut. Dalam proses pembungkusan semikonduktor pula, ia membantu memastikan proses pengecutan bahan pelekat berjalan secara konsisten, tanpa berlaku perubahan suhu yang drastik. Reka bentuk mentol ini juga sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, kerana ia menghasilkan pengeluaran gas yang rendah dan mampu mengawal penghasilan zarah-zarah yang boleh merosakkan bahan tersebut. Hasilnya, masa pengeluaran menjadi lebih cepat, penggunaan tenaga berkurangan, dan keperluan untuk menukar mentol juga berkurangan. Ini seterusnya membantu memastikan prestasi operasi yang stabil dan memudahkan perancangan penyelenggaraan.
Butiran praktikal yang perlu diperhatikan
Toleransi pemasangan dan penyesuaian optik sangat penting. Jika kedudukan mentol tidak tepat, ketekatan suhu boleh berubah sebanyak 0.3°C. Pastikan reflektor sentiasa bersih, dan aliran udara penyejukan di bahagian bawah mentol juga harus dikawal dengan baik. Semua ini memberi kesan langsung terhadap kestabilan jangka panjang mentol tersebut. Mentol ini berfungsi dengan baik apabila digunakan bersama sumber kuasa yang stabil dan bebas gangguan. Apabila mentol dihidupkan, arus yang mengalir agak tinggi, jadi pastikan ia disambungkan dengan sistem pengawalan kuasa yang sesuai.